氧化鎢氣敏傳感器

氣敏傳感器的種類很多，由于氣體與材料相互之間的作用形式多種多樣，它們所反映出來的物理、化學(xué)和生物效應(yīng)或現(xiàn)象也就各不相同，所以分類方法也很多，有按氣體種類分類的（氧敏器件、酒敏器件、氨敏器件等），有按基體材料種類分類的（金屬氧化物型、有機高分子半導(dǎo)體型、固體電解質(zhì)型等），有按工作方式分類的（干式、濕式等），有按結(jié)構(gòu)形式分類的（燒結(jié)型、薄膜型、厚膜型等），有按工作機理分類的（電阻型、電容型、二極管特性型、晶體管特性型頻率型、電化學(xué)型等）。

WO₃是一種N型金屬氧化物半導(dǎo)體材料，在與被測氣體接觸時，其電阻發(fā)生變化，從而使輸出信號產(chǎn)生相應(yīng)改變而達(dá)到檢測氣體的目的。WO₃對H₂S、SOx和NOx等氣體具有較好的敏感特性和選擇性，因而有很好的發(fā)展前景。WO₃薄膜的沉積技術(shù)以及相應(yīng)的沉積參數(shù)對薄膜氣敏傳感器的氣敏特性有很大的影響。由于制膜技術(shù)和成膜條件的不同，薄膜材料中缺陷的密度也會有所不同，另一方面材料在熱處理時，粒度也發(fā)生變化，這些對三氧化鎢的電學(xué)性質(zhì)和氣敏響應(yīng)都有很大影響。