Х?м?чне осадження з парово? фази
Для осадження вольфраму шар?в з парово? фази, легко випарову?ться вольфрам з'?днання зм?шують з газом-нос??м ? / або в?дновного газу ? розкладають або зменшу?ться при б?льш висок?й температур? на в?дпов?дному. Можлив? вольфрамов? сполуки ? н?трати (переважно WF6 ? WCl6), Гексакарбон?л вольфраму [W (CO) 6], ? металоорган?чн? сполуки. До сих п?р т?льки н?трати не ? техн?чно важливими. Широк? досл?дження в напрямку металоорган?чних були зроблен? для того, щоб подолати недол?ки галоген?д?в: високотемпературну необх?дну для скорочення ? труднощ?, викликан? короз??ю.
Листи, отриман? за допомогою CVD (Х?м?чне осадженим з парово? фази), демонструють зовс?м ?ншу м?кроструктуру в пор?внянн? з кованими P / M продукт?в з точки зору розм?ру зерна ? ор??нтац?? зерна. Жоден ?з цих параметр?в можуть бути п?д впливом умов осадження. Дуже др?бнозернистий CVD (Х?м?чне осадженим з парово? фази) вольфраму можуть бути отриман? шляхом зм?ни умов зростання в процес? осадження, наприклад, за допомогою кист?, що зб?льшу? швидк?сть нуклеац?? ? руйну? стовпчастий зростання зерна. Спос?б також да? можлив?сть депонувати шар?в бажано? ор??нтац?? кристала або нав?ть окрем? верстви кристала.
Серцево-судинних захворювань (Х?м?чне осадженим з парово? фази) вольфраму ? вольфраму-рен?ю (сп?льне осадження WF6 ? ReF6) ма? комерц?йне значення для виробництва рентген?вських м?шеней. W-Re шар?в до 1 мм наносять на граф?тов? диски д?аметром в?д 100 до 150 мм. Кр?м того, серцево-судинних захворювань можуть бути використан? для виробництва цил?ндричних або кон?чних оболонок, конуси (наприклад, фасонних лайнери плату), тигл? ? тонкост?нн? труби.
CVD низького тиску вольфраму перев?ря?ться на наявн?сть за допомогою вилки, з низьким опором контактних бар'?р?в ? сполучних елемент?в для високо? щ?льност? кремн??вих ?нтегральних схем. Залежно в?д субстрату ? умов осадження, або & alpha; або & beta; вольфраму або сум?ш? обох, форм. Це становить ?нтерес, оск?льки оп?р ofβ-W приблизно в 10 раз?в вище, н?ж у ofα-W.
Якщо у вас ? як?-небудь ?нтерес до порошку вольфраму, будь ласка, не соромтеся Зв'яж?ться з нами по електронн?й пошт?:sales@chinatungsten.com або по телефону:+86 592 5129696
Детальн?ше >>