Hóa(chǎn) h?c Vapor Deposition
Cho s? l?ng ??ng c?a các l?p vonfram t? pha h?i, m?t h?p ch?t vonfram d? dàng bay h?i ???c tr?n v?i m?t ch?t khí v?n chuy?n và / ho?c làm gi?m khí và phan h?y ho?c gi?m ? nhi?t ?? cao trên phù h?p. Các h?p ch?t vonfram có th? là halogenua (t?t WF6 và WCl6), vonfram hexacarbonyl [W (CO) 6], và organometallics. Cho ??n nay, ch? có halogenua là k? thu?t quan tr?ng. ?i?u tra m? r?ng theo h??ng organometallics ?? ???c th?c hi?n ?? kh?c ph?c nh?ng nh??c ?i?m c?a các halogen: các nhi?t ?? cao c?n thi?t ?? gi?m và nh?ng khó kh?n gay ra b?i s? ?n mòn.
T?, s?n xu?t th?ng qua CVD (l?ng ??ng h?i hóa(chǎn) h?c), tri?n l?m m?t vi c?u trúc hoàn toàn khác bi?t so v?i s?n ph?m P / M rèn v? kích th??c h?t và ??nh h??ng h?t. C? hai tham s? có th? b? ?nh h??ng b?i các ?i?u ki?n l?ng ??ng. R?t t?t h?t CVD (l?ng ??ng h?i hóa(chǎn) h?c) vonfram có th? thu ???c b?ng cách thay ??i các ?i?u ki?n t?ng tr??ng trong th?i gian l?ng ??ng, ví d?, b?ng cách ?ánh r?ng, làm t?ng t?c ?? t?o m?m và phá v? s? phát tri?n h?t c?t. Ph??ng pháp này c?ng cung c?p kh? n?ng g?i các l?p tinh th? ??nh h??ng mong mu?n ho?c th?m chí l?p tinh th? duy nh?t.
CVD (l?ng ??ng h?i hóa(chǎn) h?c) c?a vonfram và volfram-rheni (??ng l?ng ??ng c?a WF6 và ReF6) có t?m quan tr?ng th??ng m?i ?? s?n xu?t các m?c tiêu X-quang. W-Re l?p lên ??n 1mm ???c g?i lên ??a than chì v?i ???ng kính t? 100 ??n 150 mm. H?n n?a, b?nh tim m?ch có th? ???c s? d?ng ?? s?n xu?t hình tr? ho?c hình nón v?, t? bào hình nón (nh? lót ph? trách hình), n?i n?u kim lo?i, và ?ng thành m?ng.
B?nh tim m?ch th?p áp l?c c?a vonfram là th? nghi?m cho qua phích c?m, rào c?n ti?p xúc tr? kháng th?p, và liên k?t n?i cho silic m?ch tích h?p m?t ?? cao. Tùy thu?c vào ch?t n?n và các ?i?u ki?n l?ng ??ng, ho?c là α-β-vonfram hay, ho?c m?t h?n h?p c?a c? hai, hình th?c. ?ay là quan tam, b?i vì ?i?n tr? ofβ-W cao h?n ofα-W kho?ng 10 l?n.
N?u b?n có quan tam ??n b?t vonfram, xin vui lòng liên h? v?i chúng t?i qua email:sales@chinatungsten.com ho?c qua ?i?n tho?i:+86 592 5129696
th?ng tin thêm>>